新しい静電気散逸(ESD)システムは、欠陥と歩留まり損失を低減しながら安全性を向上

米マサチューセッツ州ビレリカ--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 半導体およびその他のハイテク産業向けの先端材料およびプロセスソリューションを供給する世界有数の企業であるインテグリスは本日、独自の薬液管理システムの投入を発表しました。このシステムは、今日の先進的技術チップの製造に不可欠な薬液供給システムにおける静電気を除去するものです。



半導体の製造で使用される溶剤やその他の可燃性薬液の供給に従来使用されていたステンレス製の薬液管理システムは、超微量の金属不純物に対する今日の需要の高まりに対応できません。その結果、先進的技術チップのメーカーは、ステンレス製システムからフルオロポリマー(PFA)製システムに切り替えています。PFAシステムはステンレス製システムがもたらす金属不純物を低減しますが、PFAは非導電性の電気絶縁体であるため、静電放電に伴う新たな課題を生み出します。

インテグリスの先進的マテリアルハンドリング(AMH)部門の薬液管理担当バイスプレジデントを務めるBrett Reichowは、次のように述べています。「薬液供給システムを流れる薬液に蓄積する静電気の存在は、システム中の薬液操作部品を静電放電事象によって損なうだけでなく、シリコンウエハーに欠陥をもたらす原因となることがあります。また静電放電は、半導体製造プロセスにおいて危険な状態を生み出すことがあり得ます。」

インテグリスは、チューブを流れる薬液に蓄積する静電気とチューブの外に蓄積する可能性のある静電気の両方を低減することを実証済みの新材料を使用したソリューションを開発しました。Reichowは「インテグリスの革新的なシステムにおけるPFAチューブは、内側に導電性のストライプがあり、フィッティングを導電性PFAで製造することで、シーリングエリアが導電性ストライプに接触した時に接地経路を作ります」と述べています。

AMH部門のシニアバイスプレジデントであるビル・シェイナーによると、インテグリスは高純度ハンドリング市場向けの革新的な接続技術を30年以上にわたって供給してきた経験の利点を生かしてESDソリューションを開発しましたが、このソリューションは同時に安全性を向上させ、欠陥の可能性を低減することになります。「私たちは当社の専有的な製造設備とプロセスを使用して、超高純度PFAと導電性PFAを同時に押出成形して、1つの単一層を生み出しました。この独自のPFA構造体は、低い金属汚染に結実し、層間剥離のリスクと潜在的な捕集エリアを排除することで、高い化学的純度を維持します。この新しいソリューションは、安全上のリスクを低減し、物的損害のリスクも最小化します。さらに、このチューブは半透明なので、本システムを流れる薬液の目視点検が可能です。」(シェイナー)

インテグリスがこの新システムを対象に行った金属抽出試験の結果から、標準のPFAチューブと同等レベルの純度を維持することが示されました。また第三者の試験企業もこの新システムの十分な接地性能を確認しました。

インテグリスが特許出願中の新しいESDシステムは、マイクロエレクトロニクス産業がよりクリーンな薬液供給システムに向けての前進を続け、先進的なプロセスノードのニーズを満たすことができるように支える上で、重要な革新成果を新たに積み上げるものです。」(シェイナー)

インテグリスについて

インテグリスは半導体およびその他のハイテク産業向けの先端材料およびプロセスソリューションを供給する世界有数の企業です。インテグリスは世界各地の事業所に約5300人の従業員を擁しており、ISO 9001認証を取得しています。当社は米国、カナダ、中国、フランス、ドイツ、イスラエル、日本、マレーシア、シンガポール、韓国、台湾に製造施設、顧客サービス施設、研究施設を持っています。詳細情報についてはwww.entegris.comをご覧ください。

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記事名:「インテグリスが半導体業界に不可欠な薬液供給システム向けの革新的なソリューションを投入