世界初 ヘリウム不使用のパージプロセスをグローバルに展開

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com)は、同社の「ヘリウムフリー」技術を用いた高出力ArF液浸エキシマレーザー(以下ArFレーザー)の、ヘリウムガス削減量が全世界で年間1万キロリットルにのぼると発表しました。


ギガフォトンは、2013年より顧客の環境負荷低減活動であるグリーンイノベーション活動を独自のエコフォトンプログラム(注に沿って継続しており、その豊富な実績と経験を生かしてこれまで主に顧客の様々なコストを削減してきました。また7月には、グリーンイノベーションの新たなロードマップも発表しています。その中でも、ヘリウムガス供給懸念へのソリューションである「ヘリウムフリー」技術は半導体業界にとどまらず産業界への大きな貢献となっています。

この技術は、ArFレーザー内でパージガスとして使用されるヘリウムガスを窒素に置き換えることにより、その使用量を99%削減させる世界初の技術です。また、窒素に置き換えても光学特性を犠牲にすることなく、ヘリウムガス使用時と同等の高い安定性を維持することができるという特徴があります。当社ユーザーの大手メモリメーカーでも、すでに量産ラインの90%以上のレーザーにこの技術を採用しており、採用後も露光プロセスへの影響なく安定稼働を続けています。現在「ヘリウムフリー」によるArFレーザー1台あたりのヘリウムガス削減量は年間平均約80キロリットルですが、市場にある過半数のレーザーへの適用が進んだため、ヘリウムガス削減量は全世界トータルで年間1万キロリットルになりました。(当社調べ)

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁はこう述べています。「ヘリウムは、半導体業界以上に、MRI等の医療分野やリニアモーターカー等の分野で代替困難なものとして強く必要とされています。また、新興国での需要が増加する一方で、供給力は横ばいで不足が懸念されています。この『ヘリウムフリー』技術が採用されることにより、ヘリウムは、その使用をより必要とする分野へ供給することができます。ギガフォトンは今後も産業界にこのような貢献ができる会社であるよう邁進していきます。」

「グリーンイノベーション新ロードマップ」に関するニュースリリース

(注
EcoPhoton™プログラムについて
EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト(Cost of Ownership = CoO)を、消耗部品により発生するコスト(Cost of Consumable = CoC)、ダウンタイムにより発生するコスト(Cost of Downtime=CoD)、環境負荷のコスト(Cost of Environment = CoE)の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。


Contacts

報道関係者向けの連絡窓口:
ギガフォトン株式会社
経営企画部
松井章記
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com

情報提供元:
記事名:「ギガフォトン ヘリウムガス使用量、年間1万キロリットル削減を達成