ガスリサイクルなどの環境負荷コスト削減技術がさらに進化

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com)は、顧客の環境負荷低減活動である、グリーンイノベーションの新たなロードマップを発表しました。2003年から続くこの取り組みの中で培った豊富な実績と経験を生かして、さらなるユーティリティコストの削減を実現していきます。


ギガフォトンは、近年の業界の懸念事項である、ネオンガス・ヘリウムガスの供給量の減少と価格の高騰、および世界規模での急激な電力使用量の増加に対応するため、独自のエコフォトンプログラム(注に沿って、積極的にグリーンイノベーション技術を提供してきました。2013年にはヘリウムガスを窒素に置き換えることでヘリウムガスの使用量を99%削減*1できる技術を、2014年にはネオンガス消費量を最大50%削減*2できる「eTGM」技術を開発しました。また、2015年にリリースした「eGRYCOS」技術では、レーザ放電効率を20%向上させることにより、レーザ性能を維持しながら消費電力15%の削減*3が可能となりました。

今回発表した新ロードマップでは、これらの技術にさらなる進化が加わりました。ネオンガスに関しては、不純物を取り除き、シリンダーから供給されるフレッシュガスと同等レベルの純度でネオンガスを再生させるリサイクルシステムを開発しました。それによりネオンガスの使用量を限りなくゼロに近づけることが可能となります。またヘリウムガスについては、ヘリウムを窒素に置き換えても光学特性を犠牲にすることなく、より高い安定性を維持する技術を開発しました。電力においては、最新リソグラフィプロセスで要求されているレーザの高出力化を目指すと同時に、2020年までに電力消費量を半分までに削減する技術に取り組みます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「当社では環境に配慮したグリーン工場の実現を推進するグリーンイノベーションを最重要課題の一つとして、これに取り組んでおり、多くのお客様に高い評価を頂いております。今後もお客様に役立つ技術・製品を提供するため、より一層の努力をして参ります。」

*1~3当社従来比

eTGMに関する過去のニュースリリース
ヘリウムフリーに関する過去のニュースリリース
eGRYCOSに関する過去のニュースリリース

(注
EcoPhoton™プログラムについて
EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザの稼働コスト(Cost of Ownership = CoO)を、消耗部品により発生するコスト(Cost of Consumable = CoC)、ダウンタイムにより発生するコスト(Cost of Downtime=CoD)、環境負荷のコスト(Cost of Environment = CoE)の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。


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ギガフォトン株式会社
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情報提供元:
記事名:「ギガフォトン、グリーンイノベーション新ロードマップを発表